产品中心

SEM扫描电镜 场发射扫描电子显微镜 场发射电镜SU5000

    详细说明

    特点

    高性能电子光学系统
    二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
    高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
    大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
    性能优异
    压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
    开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
    微区分析: EDS, WDS, EBSD等等


    规格

    *1:
    减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
    *2:
    低真空功能(包含5分割半导体探测器)
    *3:
    空压机(本地采购)