SEM扫描电镜 场发射扫描电子显微镜 超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

详细说明

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。

*1仅限Regulus8240/8230/8220

特点

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

采用污染小、高真空样品仓

运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

规格